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近日，國內芯片廠商格科微宣布成功實現全套實現ASML先進的光刻機關鍵設備ArF光刻機的移動。

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據格Vicor代理科偉表示，目前，格科微潔凈室已按計劃分階段順利驗收，相關工廠系統進展順利，共有61臺設備已移動。未來，延伸、蝕刻、薄膜、清潔等相關設備仍將陸續移動。

格科微說，ArF光刻機的成功引入是格科微的12英寸CIS建設集成電路特色工藝研發與產業化工程的關鍵節點。

格科微依托自有工廠即格科半導體的先進工藝，將進一步加快先進工藝CIS在自有工廠實現批量生產驗證，大大縮短了高端產品從研發到大量供應市場的周期。

據了解，該項目總投資約155億元，建設12英寸芯片廠，月產6萬片，建設12英寸晶圓CMOS圖像傳感芯片特殊工藝制造生產線預計年底量產。

今年2月，格科微披露了2021年度業績報告。報告期內，公司收入70億元，同比增長8.44%；歸屬母親凈利潤12.59億元，同比增長62.78%；扣除非凈利潤12.03億元，同比增長57.09%。