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總投資155億國(guó)產(chǎn)CMOS傳感器工廠迎來(lái)了另一個(gè)ASML先進(jìn)的光刻機(jī)移動(dòng)

（2025年8月23日更新）

近日，國(guó)內(nèi)芯片廠商格科微宣布成功實(shí)現(xiàn)全套實(shí)現(xiàn)ASML先進(jìn)的光刻機(jī)關(guān)鍵設(shè)備ArF光刻機(jī)的移動(dòng)。

芯片采購(gòu)網(wǎng)專注于整合國(guó)內(nèi)外授權(quán)IC代理商現(xiàn)貨資源，芯片庫(kù)存實(shí)時(shí)查詢，行業(yè)價(jià)格合理，采購(gòu)方便IC芯片，國(guó)內(nèi)專業(yè)芯片采購(gòu)平臺(tái)。

據(jù)格Vicor代理科偉表示，目前，格科微潔凈室已按計(jì)劃分階段順利驗(yàn)收，相關(guān)工廠系統(tǒng)進(jìn)展順利，共有61臺(tái)設(shè)備已移動(dòng)。未來(lái)，延伸、蝕刻、薄膜、清潔等相關(guān)設(shè)備仍將陸續(xù)移動(dòng)。

格科微說(shuō)，ArF光刻機(jī)的成功引入是格科微的12英寸CIS建設(shè)集成電路特色工藝研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化工程的關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)。

格科微依托自有工廠即格科半導(dǎo)體的先進(jìn)工藝，將進(jìn)一步加快先進(jìn)工藝CIS在自有工廠實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)驗(yàn)證，大大縮短了高端產(chǎn)品從研發(fā)到大量供應(yīng)市場(chǎng)的周期。

據(jù)了解，該項(xiàng)目總投資約155億元，建設(shè)12英寸芯片廠，月產(chǎn)6萬(wàn)片，建設(shè)12英寸晶圓CMOS圖像傳感芯片特殊工藝制造生產(chǎn)線預(yù)計(jì)年底量產(chǎn)。

今年2月，格科微披露了2021年度業(yè)績(jī)報(bào)告。報(bào)告期內(nèi)，公司收入70億元，同比增長(zhǎng)8.44%；歸屬母親凈利潤(rùn)12.59億元，同比增長(zhǎng)62.78%；扣除非凈利潤(rùn)12.03億元，同比增長(zhǎng)57.09%。