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正如我們?cè)谏弦黄恼轮兴f(shuō),佳能正在開(kāi)發(fā)3D可以說(shuō),光刻機(jī)在芯片疊加方向上又邁出了堅(jiān)實(shí)的一步。那么為什么佳能要朝這個(gè)方向努力呢?ASML在EUV在光刻機(jī)方面,壟斷能力太強(qiáng),其他人很難趕上,所以我們只能找到另一種方式,比如3D為了達(dá)到更好的性能,光刻機(jī)制造了橫向縱向疊加的芯片。
俄羅斯和烏克蘭發(fā)生沖突后,歐洲、美國(guó)和西方國(guó)家對(duì)俄羅斯進(jìn)行了各種制裁,這在半導(dǎo)體領(lǐng)域自然是如此。俄羅斯最大的半導(dǎo)體制造商米克朗也受到了美國(guó)的制裁。
據(jù)悉,米克朗已出口俄羅斯微電子產(chǎn)品 50% 以上,其前身是蘇聯(lián)成立于1964年3月前的分子電子研究所。米克朗是20世紀(jì)70年代蘇聯(lián)第一家開(kāi)發(fā)和制造大型集成電路的公司。
2006年,米克朗獲得了歐洲半導(dǎo)體巨頭意大利半導(dǎo)體的技術(shù)轉(zhuǎn)讓,從此生產(chǎn)0.18μm在此基礎(chǔ)上,芯片的能力分別在2008年和2009年實(shí)現(xiàn)了130nm和90nm到2016年,工藝實(shí)現(xiàn)了65nm。目前,米克朗也是唯一一家能量產(chǎn)65的公司nm俄羅斯本土企業(yè)的工藝。
事實(shí)上,俄羅斯的芯片采購(gòu)量很低,不到全球總量的1%,但也未能擺脫美國(guó)的霸權(quán)打擊。 因此,俄羅斯決心開(kāi)始發(fā)展光刻機(jī)。
最近,俄羅斯宣布將投資6.7億盧布,相當(dāng)于約5100萬(wàn)元開(kāi)發(fā)新一代光刻機(jī),俄羅斯莫斯科電子技術(shù)學(xué)院已經(jīng)承擔(dān)了這項(xiàng)任務(wù)。
俄羅斯媒體報(bào)道稱,俄羅斯將開(kāi)發(fā)世界上最先進(jìn)的X射線光刻機(jī)或比較ASML的EUVAdesto代理光刻機(jī)性能更先進(jìn)。
看到這個(gè)消息,很多人會(huì)有兩個(gè)問(wèn)題。一是錢夠嗎?只有5100萬(wàn)。第二,真的可以超過(guò)。EUV光刻機(jī)?甚至覺(jué)得這個(gè)消息有點(diǎn)扯。
別擔(dān)心。
首先,在金錢問(wèn)題上,6.7億盧布是第一批基金,以后應(yīng)該會(huì)有投資。至于花多少錢做多少事情,也許一個(gè)家庭是一樣的,暫時(shí)不容易評(píng)論。此外,如果錢不夠,俄羅斯也可以賣更多的石油和天然氣,但也可以以更高的價(jià)格出售,這兩件事。
其次,俄羅斯開(kāi)發(fā)的光刻機(jī)只計(jì)劃實(shí)現(xiàn)EUV級(jí)別,并非EUV光刻機(jī)的技術(shù)原理完全不同,所有美國(guó)和ASML沒(méi)法限制。
此外,俄羅斯x射線光刻機(jī)是一種基于同步加速器或等離子體源的無(wú)掩模x射線光刻機(jī),甚至在某些地方也比較EUV光刻機(jī)好。
目前,俄羅斯莫斯科電子技術(shù)學(xué)院和其他科研機(jī)構(gòu)和科學(xué)家團(tuán)隊(duì)在無(wú)掩模光刻領(lǐng)域取得了進(jìn)展。與此同時(shí),還有澤列諾格勒的同步加速器和先進(jìn)的離子源,因此俄羅斯媒體也自信地公開(kāi)表示,該光刻機(jī)將實(shí)現(xiàn)28nm、16nm以下工藝。
那么X射線能用于光刻嗎?
事實(shí)上,這種技術(shù)已經(jīng)存在很長(zhǎng)時(shí)間了。X射線光刻機(jī)在美國(guó)、歐洲和中國(guó)都得到了開(kāi)發(fā)。但由于效率差,一般只適用于特定場(chǎng)景的芯片制造,不適用于批量生產(chǎn)場(chǎng)景。因此,X射線光刻機(jī)尚未得到廣泛的推廣和應(yīng)用。
X射線大家肯定都很熟悉,在醫(yī)院里很常見(jiàn),很難想象它能應(yīng)用到光刻機(jī)領(lǐng)域。但很多人可能沒(méi)想到,X射線波長(zhǎng)比EUV極紫外光也很短。
Xx射線用于光刻機(jī),波長(zhǎng)為0.01nm到10nm之間,而EUV極紫外光波長(zhǎng)為13.5nm,可用于制造7nm以下芯片,所以簡(jiǎn)單看數(shù)據(jù),X射線光刻機(jī)可以實(shí)現(xiàn)EUV光刻機(jī)的工藝水平。
另外,X射線光刻機(jī)還有一個(gè)優(yōu)點(diǎn),就是不需要光掩模板,可以直接寫(xiě)光刻。工藝環(huán)節(jié)少了一步,不僅降低了成本,還提高了產(chǎn)量。
當(dāng)然,說(shuō)到這里,很多人會(huì)懷疑俄羅斯是否有能力開(kāi)發(fā)光刻機(jī)。
事實(shí)上,莫斯科電子技術(shù)學(xué)院是一所非常強(qiáng)大的大學(xué),是俄羅斯高科技領(lǐng)域的領(lǐng)先技術(shù)大學(xué),屬于俄羅斯國(guó)立研究大學(xué),成立于1965年,特色學(xué)科是微電子、信息技術(shù)和計(jì)算機(jī)工程,擁有現(xiàn)代實(shí)驗(yàn)室和大量的科技人才。
事實(shí)上,除了資本要求外,半導(dǎo)體領(lǐng)域更重要的是人才,而俄羅斯一直不缺人才。例如,2000年左右,華為陷入3G研發(fā)團(tuán)隊(duì)發(fā)現(xiàn)了一位俄羅斯數(shù)學(xué)家提出的技術(shù)瓶頸SingleRAN算法可以取得技術(shù)突破,最終在俄羅斯為數(shù)學(xué)家設(shè)立研究所。
后來(lái),數(shù)學(xué)家算法的交換機(jī)不僅信號(hào)穩(wěn)定,體積小,而且成本降低了三分之二。憑借這款交換機(jī),華為成功開(kāi)拓了荷蘭電信市場(chǎng),最終在歐洲站穩(wěn)了腳跟。
而且俄羅斯開(kāi)發(fā)這種光刻機(jī)的技術(shù)基礎(chǔ)還是很強(qiáng)的,不是從零開(kāi)始的。
當(dāng)然,即便如此,還是有很多人對(duì)此并不樂(lè)觀,畢竟光刻機(jī)真的太難了,ASML的EUV光刻機(jī)不僅可以由它自己制造,甚至可以由荷蘭國(guó)家制造。它只能由多個(gè)國(guó)家的技術(shù)和部件組成。但技術(shù)不就是把不可能變成可能嗎?只要你有決心,你就有機(jī)會(huì)。
總之,如果俄羅斯真的能實(shí)現(xiàn)這款X射線光刻機(jī),對(duì)中國(guó)來(lái)說(shuō)也是一個(gè)很好的啟示。憑借我們的技術(shù)實(shí)力和財(cái)務(wù)實(shí)力,我們應(yīng)該很快在這條技術(shù)路線上取得突破。 中國(guó)和俄羅斯也可以考慮合作,加快發(fā)展進(jìn)度,或者我們可以直接購(gòu)買和使用它。中國(guó)是世界上最大的芯片進(jìn)口國(guó),市場(chǎng)很容易說(shuō)。
我認(rèn)為在俄羅斯和烏克蘭之間的沖突之后,西方國(guó)家對(duì)俄羅斯的瘋狂制裁足以讓世界各國(guó)看到,美國(guó)的霸權(quán)主義已經(jīng)接近瘋狂,制裁棒已經(jīng)成為一個(gè)游戲,看誰(shuí)不喜歡,誰(shuí)不聽(tīng)話揮舞著玩,所以每個(gè)人都非常害怕。
然后,一個(gè)有能力的國(guó)家會(huì)努力擺脫各種可能被卡住的領(lǐng)域。中國(guó)正在這樣做,俄羅斯現(xiàn)在也在這樣做。然后,世界上兩個(gè)超級(jí)大國(guó)通過(guò)努力打破了美國(guó)的霸權(quán)主義,這對(duì)世界上數(shù)十億人來(lái)說(shuō)是一件好事,不是嗎。
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