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(原標(biāo)題:光刻機(jī)巨頭阿斯麥CEO：不賣EUV是中國大陸政府的選擇)

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【文/觀察者網(wǎng) 呂棟】

這不是我們的選擇，而是政府（瓦森納協(xié)議成員國）的選擇。荷蘭光刻機(jī)巨頭阿斯麥CEO溫彼得再次出口到中國大陸EUV光刻機(jī)解釋說。他今年1月表示，中國不太可能獨(dú)立復(fù)制。（replicate）頂級(jí)的光刻技術(shù)，但也不那么絕對(duì)，他們肯定會(huì)嘗試。

觀察者網(wǎng)注意到，由于最先進(jìn)EUV自2021年以來，溫彼得多次表示，設(shè)備無法出口到中國大陸。2021年4月，他呼吁美國政府對(duì)中國的出口管制不僅會(huì)阻礙中國的技術(shù)進(jìn)步，還會(huì)損害美國自身的經(jīng)濟(jì)。限制出口只會(huì)加快中國自主研發(fā)的速度。

但美國顯然對(duì)溫彼得的聲明視而不見。

2021年7月，美國官員透露，拜登政府正在確認(rèn)EUV在科技產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略價(jià)值之后，光刻機(jī)選擇延續(xù)特朗普時(shí)期的政策。溫彼得隨后表示，該公司將不得不觀察中國大陸的變化。

隨著全球芯片短缺抱怨產(chǎn)業(yè)鏈，阿斯麥作為最關(guān)鍵的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備——光刻機(jī)制造商，越來越受到行業(yè)的關(guān)注。美國消費(fèi)者新聞和商業(yè)頻道（CNBC）最近對(duì)阿斯麥總部進(jìn)行了實(shí)地考察。

圖源：ASML

因?yàn)槿毙荆�每天都在掙�?/p>

費(fèi)爾德霍芬，一個(gè)靠近荷蘭南部比利時(shí)邊境的小鎮(zhèn)（Veldhoven），世界上唯一能生產(chǎn)極紫外光刻機(jī)的家庭（EUV）阿斯麥企業(yè)（ASML）。在數(shù)據(jù)中心，汽車和iPhone在提供計(jì)算能力的先進(jìn)半導(dǎo)體制造中，EUV光刻是最昂貴的一步。

阿斯麥壟斷了極紫外光刻機(jī)的制造，我們今天使用的每一個(gè)先進(jìn)處理器都需要使用EUV美國塔夫茨大學(xué)光刻機(jī)。（Tufts University）克里斯·米勒說，每一個(gè)EUV光刻機(jī)是歷史上最復(fù)雜的設(shè)備之一，重180噸。

EUV是極紫外光（Extreme Ultraviolet）這是一種波長極短的光，阿斯麥生產(chǎn)的設(shè)備可以在硅片上雕刻大量的小而復(fù)雜的電路。極紫外線是由二氧化碳激光每秒噴射5萬次的液體錫滴（molten tin）這種光通過直徑0.65米的橢球反射鏡送入光刻機(jī)。一些極紫外線顆粒被照射到硅片表面，然后雕刻出決定每個(gè)芯片功能的小圖案。

極紫外光刻機(jī)內(nèi)部

由于全球芯片短缺，索尼的游戲機(jī)PS5.雪佛蘭汽車的訂單積壓開始出現(xiàn)，芯片制造商對(duì)阿斯麥EUV對(duì)光刻機(jī)的需求大幅增加。自2018年底以來，阿斯麥股價(jià)飆升超過340%，使得該公司的市值超過了英特爾等一些大客戶。

阿斯麥CEO溫彼得（Peter Wennink）該公司自成立38年以來一直致力于降低半導(dǎo)體的生產(chǎn)成本，并將在未來幾十年繼續(xù)這樣做。溫彼得說：世界需要更多的芯片，所以我們需要制造更多的機(jī)器。順便說一句，只要我們能繼續(xù)降低每個(gè)晶體管的生產(chǎn)成本，這些光刻機(jī)的平均價(jià)格就會(huì)繼續(xù)上漲。

即便如此，溫彼得還是認(rèn)為全球芯片短缺對(duì)阿斯麥來說是Catch-22(第二十二條軍規(guī)意味著進(jìn)退兩難，左右為難)。

我們從供應(yīng)商那里收到了很多信息，他們說，‘嘿，我們可能會(huì)推遲向您交付模塊，因?yàn)槲覀儫o法獲得芯片。’我們說，‘如果我們得不到芯片，我們就不能制造機(jī)器來生產(chǎn)更多的芯片。’溫彼得承認(rèn)阿斯麥仍在運(yùn)營，但每天都在掙扎。

阿斯麥CEO溫彼得

荷蘭公司嚴(yán)重依賴美國零部件

據(jù)溫彼得透露，阿斯麥在過去10年里賣出了140臺(tái)EUV現(xiàn)在每個(gè)光刻系統(tǒng)的價(jià)格高達(dá)2億美元，而下一代的高值孔徑（High NA）EUV光刻機(jī)的價(jià)格將超過3億美元。

市場(chǎng)調(diào)研機(jī)構(gòu)Semico Research喬安妮，制造業(yè)總經(jīng)理·伊托評(píng)論說，阿斯麥EUV光刻系統(tǒng)太貴了，大多數(shù)公司都買不起。她認(rèn)為，包括芯片制造商格羅方德在內(nèi)的許多制造商將被排除在市場(chǎng)之外。格羅方德于2018年宣布停止7，因?yàn)槌杀咎�高nm以下先進(jìn)工藝的研發(fā)。

現(xiàn)在，阿斯麥EUV只有五個(gè)客戶(臺(tái)積電、三星、英特爾、SK海力士和美光)。2021年，最大的三大客戶——臺(tái)積電、三星和英特爾占阿斯麥業(yè)務(wù)量的84%。臺(tái)積電表示，該公司于2019年率先采用EUV從那以后，光刻機(jī)一直處于領(lǐng)先地位，芯片制造至少領(lǐng)先于三星和英特爾。

CNBC阿斯麥在光刻機(jī)領(lǐng)域的主導(dǎo)地位仍然是一個(gè)相對(duì)較新的現(xiàn)象。十年前，該公司開始進(jìn)軍EUV研發(fā)由英特爾、三星和臺(tái)積電的重大投資決定。

1999年加入阿斯麥的溫彼得說：我們沒有錢，我們出去尋找合作伙伴，這實(shí)際上是我們建立公司的基礎(chǔ)。因此，我們被迫成為系統(tǒng)架構(gòu)師和系統(tǒng)集成商。

回到1984年，阿斯麥成立時(shí)是荷蘭電子巨頭飛利浦的子公司。在荷蘭艾恩德霍芬飛利浦辦公樓旁邊的一個(gè)漏水的小房間里，阿斯麥在20世紀(jì)50年代在美國軍事實(shí)驗(yàn)室發(fā)明了第一臺(tái)半導(dǎo)體光刻設(shè)備。

阿斯麥開啟光刻機(jī)研發(fā)的地方 圖源：ASML

阿斯麥負(fù)責(zé)第一個(gè)光刻工具看起來像投影儀EUV業(yè)務(wù)執(zhí)行副總裁克里斯托弗·福凱（Christophe Fouquet）基本上會(huì)有一標(biāo)記來保存你想要投影的圖像。然后有一個(gè)光學(xué)系統(tǒng)，它將圖像投射到晶圓上。

到1988年，阿斯麥在美國有5個(gè)辦事處，共有84名員工，并在荷蘭費(fèi)爾德霍芬設(shè)立了新的辦事處，最終成為該公司的總部。

半導(dǎo)體行業(yè)準(zhǔn)備進(jìn)入EUV在研究的早期階段，沒有一家美國公司準(zhǔn)備冒險(xiǎn)嘗試這個(gè)昂貴而危險(xiǎn)的項(xiàng)目，但阿斯麥做出了不同的選擇，即將出版的芯片戰(zhàn)爭(zhēng)：世界上最關(guān)鍵的技術(shù)戰(zhàn)爭(zhēng)作者米勒說，阿斯麥?zhǔn)且患液商m公司，但它也是一家嚴(yán)重依賴美國部件的荷蘭公司，特別是在其設(shè)備上。

這是政府的選擇

EUV光刻機(jī)由來自世界各地近800家供應(yīng)商的多個(gè)模塊和數(shù)十萬個(gè)部件組成。每個(gè)模塊都在全球60個(gè)阿斯麥辦公室開發(fā)和生產(chǎn)，然后運(yùn)到費(fèi)爾德霍芬組裝。每臺(tái)組裝好的機(jī)器經(jīng)過測(cè)試后將被拆卸并運(yùn)送給芯片制造商。EUV光刻機(jī)的IR代理運(yùn)輸需要20輛卡車和3架波音747飛機(jī)。

阿斯麥沒有出口中國大陸EUV溫彼得說：世界上42個(gè)國家（瓦森納協(xié)議成員國）已經(jīng)同意實(shí)施出口管制，因?yàn)樗�非常關(guān)鍵，溫彼得說，所以這不是我們的選擇，而是政府的選擇。

美國對(duì)荷蘭政府的壓力早在特朗普任期內(nèi)就開始了。查爾斯是美國總統(tǒng)副國家安全顧問·庫珀曼（Charles Kupperman）2019年，他邀請(qǐng)荷蘭外交官到白宮，并向后者施加壓力，稱忠實(shí)盟友不會(huì)出售給中國大陸EUV這類設(shè)備。庫珀曼還警告荷蘭，如果沒有美國零部件，阿斯麥的設(shè)備將無法運(yùn)行，白宮有權(quán)限制這些零部件出口荷蘭。

中國(大陸)想加入這場(chǎng)比賽。Semico Research的喬安妮·但由于政治原因，中國(大陸)無法獲得這項(xiàng)技術(shù)。

極紫外光刻機(jī)正在工作 圖源：阿斯麥

然而，阿斯麥正在以另一種方式與中國大陸做生意。該公司更新了所謂的深紫外線（DUV）舊的光刻系統(tǒng)，并向中國大陸出售給中國大陸。溫彼得透露，96%的阿斯麥設(shè)備仍在使用中。

關(guān)于向中國大陸出售更多信息DUV米勒說：提高其生產(chǎn)接近尖端半導(dǎo)體的能力是否也是一種‘國家安全風(fēng)險(xiǎn)’，存在許多爭(zhēng)議，我認(rèn)為阿斯麥在未來幾年將向中國出售DUV設(shè)備的能力也可能受到新的限制。

EUV芯片制造商可以從阿斯麥、尼康和佳能三家公司購買DUV光刻機(jī)。

盡管日本尼康仍然是光刻機(jī)市場(chǎng)的競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手之一，但阿斯麥?zhǔn)荅UV唯一的供應(yīng)商。外國行業(yè)專家認(rèn)為，其他公司可能需要幾十年才能趕上，一方面是因?yàn)榘⑺果湏碛袑Ｓ屑夹g(shù)，另一方面是因?yàn)榘⑺果溑c數(shù)百家供應(yīng)商達(dá)成了復(fù)雜而獨(dú)家的協(xié)議。

溫彼得說：我們對(duì)一些客戶來說是獨(dú)一無二的，一些供應(yīng)商對(duì)我們來說也是獨(dú)一無二的，一些人說，這種幾乎共生的關(guān)系比婚姻更糟糕，因?yàn)槟悴荒茈x婚。

2021年第四季度，阿斯麥光刻機(jī)出貨信息

今年1月，溫彼得對(duì)中國大陸市場(chǎng)說：中國不太可能獨(dú)立復(fù)制（replicate）頂級(jí)的光刻技術(shù)，因?yàn)榘⑺果溡蕾囉诓恍傅膭?chuàng)新，并整合了只能從非中國供應(yīng)商那里獲得的部件。但我的意思并不是絕對(duì)不可能的，因?yàn)橹袊�的物理定律和我們一樣。永遠(yuǎn)不要那么絕對(duì)，他們肯定會(huì)嘗試的。

半導(dǎo)體是一個(gè)高風(fēng)險(xiǎn)的行業(yè)，阿斯麥?zhǔn)鞘召徱恍┕��?yīng)商的一種方式，比如位于圣地亞哥的美國Cymer，它是EUV大功率光源制造商。2020年，阿斯麥還收購了德國Berliner Glas，這是一家陶瓷和光學(xué)模塊制造商，支持實(shí)現(xiàn)EUV和DUV產(chǎn)品開發(fā)藍(lán)圖非常重要。今年1月，Berliner Glas一場(chǎng)火災(zāi)發(fā)生了，但溫彼得說，這場(chǎng)火災(zāi)不會(huì)對(duì)今年的設(shè)備運(yùn)輸產(chǎn)生重大影響。

財(cái)務(wù)報(bào)告顯示，阿斯麥2021年總收入為186億歐元(約1339億元），同比增長33%；凈利潤為59億歐元（約425億元），同比增長66%；毛利率為53%，比去年同期增長4個(gè)百分點(diǎn)。 預(yù)計(jì)2022年銷售額將增長20%，未來10年復(fù)合增長率將增長11%。