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（2025年6月28日更新）3月24日上午10:18，格科微在嚴格遵守防疫政策、采取疫情防控措施的情況下成功舉辦ASML先進ArF光刻機移動儀式。格科半導體SVP李朝勇、各部門總監、光刻團隊、工廠團隊出席儀式，見證了公司里程碑式的重要時刻。

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目前，格科微有限公司12英寸CIS集成電路特色色技術研發與產業化項目進展迅速。工廠和清潔車間的建設已基本完成，主要設備于2022年2月16日搬遷安裝。3月24日，格科半導體再次迎來了建廠的重要標志性時刻，整條生產線中最關鍵的設備——ASML先進ArF光刻機成功刻機。

ArF光刻機的成功引入是格科微的12英寸CIS建設集成電路特色工藝研發與產業化工程的關鍵節點。格科微依托自有工廠即格科半導體的先進工藝，將進一步加快先進工藝CIS在自有工廠實現批量生產驗證，大大縮短了高端產品從研發到大量供應市場的周期。格科微表示，將堅持從Fabless向Fablite通過自有工廠為特色技術的快速研發提供強有力的支持，不斷創新的電路設計、更短的研發周期、更高的業務路線Realtek代理為客戶提供全球一流的圖像傳感器產品，讓世界看到中國的創新。數據顯示，2020年3月，格科微與上海自貿區臨港新區管委會簽訂合作協議，計劃在新區投資建設12英寸CIS集成電路特色工藝研發與產業化項目。該項目總投資預計達到22億美元，已于2020年中啟動。2021年8月16日，格科微12英寸CIS集成電路特色工藝研發與產業化項目正式封頂，項目一期計劃于2022年投產，年產能可達72萬件。