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2022年10月25日，中國上海——10月25日，中微半導體設備(上海)有限公司(以下簡稱中微公司MOCVD另一個里程碑受到設備系列的歡迎第500臺MOCVD國內專業從事設備順利運輸LED研發和制造外延片和芯片。這個里程碑不僅僅是中微公司MOCVD充分證明了產品的卓越性能和服務的專業優勢，也認可和肯定了公司持續創新的技術能力和穩步發展的綜合實力。

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本批次運輸的第500臺MOCVD該設備于2021年6月由中微公司推出Prismo UniMax，主要用于氮化鎵基Mini LED大規模生產外延片。近年來，隨著光電產業的快速發展，Mini LED廣泛應用于電視、筆記本電腦、平板電腦、桌面顯示、車載顯示、戶外顯示等終端產品。

自推出以來， Prismo UniMax MOCVD該設備以其優異的波長均勻性、高能效、高產能等優點迅速得到了市場的認可，專業的團隊及時的現場支持和詳細、標準化的技術服務也受到了客戶的青睞。作為一種高性能Mini LED量產設計MOCVD設備，Prismo UniMax具有高產能、高靈活性的特點，在同一時間Microsemi代理一個系統可配備多達4個反應腔，每個反應腔可獨立控制。Prismo UniMax配置了785mm通過石墨托盤的不同設計配置，大直徑石墨托盤最多可加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片，有效提高產能，降低生產成本。此外，Prismo UniMax創新的多區輔助加熱調節系統可以準確控制托盤局部區域的溫度，有助于更大程度地提高LED波長均勻性。

中微公司MOCVD設備Prismo UniMax

目前，中微公司開發了一系列MOCVD行業內主要設備LED量產已全面投入生產線。Prismo UniMax是MOCVD該產品系列還包括新一代設備系列產品Prismo D-BLUE、Prismo A7、Prismo HiT3和Prismo PD5。2013年，中微公司率先發布國內自主研發制造的量產型MOCVD設備Prismo D-BLUE。此后，中微公司于2017年、2020年、2021年、2022年相繼推出Prismo A7、Prismo HiT3、Prismo UniMax和Prismo PD5產品。

這個里程碑是中微公司在未來取得的又一個重要突破MOCVD進一步發展產品市場奠定了堅實的基礎。中微公司副總裁兼MOCVD產品事業部總經理郭世平說:我們為中微公司開發的一系列系列系列感到非常自豪。MOCVD該設備得到了客戶和市場的廣泛認可，部分產品在細分領域的市場份額居世界第一。未來，隨著新應用的進一步擴大，我們將繼續促進與客戶的密切合作和溝通，通過技術領域的不斷創新，不斷為客戶提供有競爭力的產品和解決方案，實現穩定發展和深度雙贏，共同為行業創造更美好的明天。”